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    雙探頭表面三維形貌分析系統(tǒng)

    SKU: FM-DP-3D

    產(chǎn)品介紹

    產(chǎn)品介紹:

      采用彩色激光共焦技術,可實現(xiàn)對材料表面微米、次微米級粗糙度檢測,并且可以進行2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析,具有測量精度高,速度快,重復性好的優(yōu)點。

        該系統(tǒng)可用于測量大尺寸樣品,軟件功能含括了點測量、線測量、面測量等強大的功能,可選模塊包括2D&3D粗糙度檢測與分析、2D輪廓測量與3D形貌分析、平面度檢測、共面度檢測、平行度檢測等。

    本系統(tǒng)特點:

    一、采用傳動裝置:直線磁軸電機驅動

    二、專業(yè)集成設計

    三、豐富的三維計測

    四、多樣的三維觀察

     

    技術參數(shù)

    技術參數(shù):

     

    探頭A

    探頭B

    工作距離

    11mm

    19mm

    量程

    ±190um

    ±1700um

    最大傾角

    ±28°

    ±21°

    光斑尺寸

    10um

    20um

    分辨率

    10nm

    40nm

    精度

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    最小厚度測量

    12um

    66um

    最大厚度測量

    511um

    5098um

    電動臺參數(shù):

    XY平臺

    驅動

    直線磁軸電機

    平臺大小

    220X230mm

    XY方向行程

    100X100mm

    分辨率

    0.05μm

    重復定位精度

    <1μm

    最大允許負重

    2Kg

    掃描速度

    ≤80mm/s

    掃描間距

    ≥0.5μm

    電氣特性

    控制器(專用電腦)額定輸入

    100-240V AC 5.3A 50/60Hz

    驅動器(專用機箱)額定輸入

    48V DC 2.1A

    傳感器輸入

    24V DC 3A


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