雙探頭表面三維形貌分析系統(tǒng)

SKU: FM-DP-3D

技術(shù)參數(shù)：

	探頭A	探頭B
工作距離	11mm	19mm
量程	±190um	±1700um
最大傾角	±28°	±21°
光斑尺寸	10um	20um
分辨率	10nm	40nm
精度	±0.02%F.S.	±0.02%F.S.
最小厚度測量	12um	66um
最大厚度測量	511um	5098um

電動臺參數(shù)：

XY平臺	驅(qū)動	直線磁軸電機
	平臺大小	220X230mm
	XY方向行程	100X100mm
	分辨率	0.05μm
	重復(fù)定位精度	<1μm
	最大允許負(fù)重	2Kg
	掃描速度	≤80mm/s
	掃描間距	≥0.5μm
電氣特性	控制器（專用電腦）額定輸入	100-240V AC 5.3A 50/60Hz
	驅(qū)動器（專用機箱）額定輸入	48V DC 2.1A
	傳感器輸入	24V DC 3A

注意事項：
儀器成套性與可選購件可參考產(chǎn)品原頁面，本頁只提供儀器核心技術(shù)參數(shù)。
產(chǎn)品價格均含有商品運費（大陸地區(qū)除外）及發(fā)票的價格但是不包含工程師上門培訓(xùn)及調(diào)試的費用。
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科信報價：￥0.00