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自由曲面三維面型檢測系統(tǒng)

SKU: FM-FFS200

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品功能：

光學(xué)元件表面的三維面型測量、面型逆向和面型輪廓精度質(zhì)量評價

檢測對象：

自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、玻璃面板、透鏡、精密模具、晶圓硅片等

面向行業(yè)：

HUD、AR、精密光學(xué)及 3D 曲面玻璃等領(lǐng)域生產(chǎn)企業(yè)或研發(fā)機構(gòu)

技術(shù)特點：

1、自由曲面反射鏡及其它光學(xué)元件表面的光學(xué)非接觸、全場 3D 輪廓測量。

2、測量過程簡單,無需精密調(diào)整樣品姿態(tài), 單件測量時間一般小于 20 秒；檢測效率遠遠優(yōu)于三坐標(biāo)和UA3P 等接觸式三維檢測設(shè)備，適合用于自由曲面光學(xué)面的全檢。

3、基于 CAD 模型或者方程式的三維面型數(shù)據(jù)比對分析，可自動完成面型質(zhì)量評價，輸出信息完善：包含完善的 3D 誤差分布圖、上下公差比例計算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。

檢測系統(tǒng)1.jpg 檢測系統(tǒng)2.jpg

4、完備的擬合分析：xy 多項式、Zernike、Legendre 擬合分析，可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。

5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻點，劃痕，刀紋，流紋以及塌邊等常見的注塑缺陷。可以提供暗場缺陷分析。可以根據(jù)用戶需求開發(fā)統(tǒng)計功能。

檢測系統(tǒng)3.jpg 檢測系統(tǒng)4.jpg

6、豐富的線性尺寸分析功能，可以分析整體線性尺寸和缺陷尺寸，并輸出報告。

檢測系統(tǒng)5.jpg

7.單點車刀痕紋理誤差的三維定量分析，用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點車反射鏡面型誤差測量結(jié)果（和激光干涉儀比較）PV=0.45um

檢測系統(tǒng)6.jpg 檢測系統(tǒng)7.jpg

8完善的測量輸出功能（測量原始數(shù)據(jù)輸出、可訂制化檢測報告輸出以及 Log 統(tǒng)計文件輸出），可根據(jù)用戶需求訂制輸出報告的內(nèi)容格式。

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

測量模塊

技術(shù) 指標(biāo)

1、光學(xué)自由曲面三維面型檢測系統(tǒng)（標(biāo)準(zhǔn)模式）

標(biāo)準(zhǔn)模塊

特點：大視場，適應(yīng)大多數(shù)反射鏡零件測量

最大測量視場:400x250mm 橫向采樣分辨率達到 0.2mm

光學(xué)面型數(shù)據(jù)單次測量不確定度: +/-2um，樣品傾角范圍+/-15 度

包含研究型檢測功能和一鍵式檢測功能

2、高分辨測量模式，鏡面三維檢測

標(biāo)準(zhǔn)模塊

特點：

高橫向分辨率、較高陡度、適合較大陡度和凸面測量

高分辨測量模式技術(shù)參數(shù)：

最大測量視場： 300mmx150mm 橫向采樣可達 0.05mm

光學(xué)面型單次測量不確定度: +/-2um

陡度范圍+/-30 度

3、結(jié)構(gòu)光測量模式，漫反射表面三維檢測

可選購，集成于模塊1中

特點：鏡面噴粉測量、漫反射表面檢測、夾具檢測

結(jié)構(gòu)光漫射表面三維測量技術(shù)參數(shù)：

單次測量區(qū)域：150mmX150mmX50mm（可拼接）

測量精度 0.01mm

4、在線型測量模式

可根據(jù)用戶需求定制

一鍵式三維面型測量及誤差分析（一般周期 40s 內(nèi)）

流水線式檢測

可根據(jù)用戶需求開發(fā)協(xié)作機械臂輔助無人化自動檢測


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