大平臺(tái)顯微激光拉曼光譜儀

SKU: FM-Op- Ra-MX

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

本儀器是一款可以對(duì)樣品進(jìn)行目鏡觀察、相機(jī)成像、拉曼光譜檢測(cè)以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。

儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡等構(gòu)成。

特點(diǎn)：

1.全新的MX大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡，最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。

2.可以同時(shí)插入三個(gè)不同波長(zhǎng)的拉曼光譜儀檢測(cè)模塊，并且可在軟件上進(jìn)行不同光譜儀間的切換，即可實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)拉曼的快速自動(dòng)檢測(cè)。

3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個(gè)波長(zhǎng)，且可搭配不同性能的光譜儀，如非制冷、制冷、深度制冷等，以滿足客戶對(duì)不同樣品、檢測(cè)精度的不同需求。

4.若選配自動(dòng)平臺(tái)，還可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)點(diǎn)掃描進(jìn)行高光譜成像。

顯微鏡參數(shù)：

光學(xué)系統(tǒng)	無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)	調(diào)焦機(jī)構(gòu)	粗微動(dòng)同軸調(diào)焦，微動(dòng)格值：1微米
			最大行程：35mm
目鏡	大視野（視場(chǎng)數(shù)25mm）	物鏡轉(zhuǎn)器	六孔轉(zhuǎn)換器
物鏡	5X、10X、20X、50X、100X 無(wú)限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡	載物臺(tái)	平臺(tái)面積：718X420
			移動(dòng)范圍：356X305
			帶離合器手柄
		電動(dòng)平臺(tái)	平臺(tái)面積：495X641
			移動(dòng)范圍：306XXI06
			重復(fù)精度：(3+L/50)um
		照明系統(tǒng)	明暗場(chǎng)反射照明器
			內(nèi)置視場(chǎng)/孔徑光欄
			帶濾色片與偏光裝置插槽
三目鏡筒	瞳距55mm-75mm，	CCD適配鏡	0.5X C-mount
	分光比：50/50，100/0，0/100
觀察方式	明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC	其它	高精度測(cè)微尺

拉曼光譜儀參數(shù)：


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		FM-Nanoview6800一體式原子力顯微鏡開啟全民原子力顯微鏡時(shí)代，掃描范圍更廣，定位更精確				自由曲面三維面型檢測(cè)系統(tǒng)


		原子力顯微鏡（環(huán)境控制型）FM-Nanoview EC-AFM				原子力顯微鏡光學(xué)一體機(jī) FM-Nanoview Op-AFM