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批量采購(gòu) 配送方式 技術(shù)咨詢 聯(lián)系我們 打印該頁(yè) CMY-420科研級(jí)三目正置大平臺(tái)金相顯微鏡半導(dǎo)體晶圓材料分析 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) 系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動(dòng)載物臺(tái)，適合大工件的檢查 SKU: 產(chǎn)品介紹   特點(diǎn)： 1、采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)成像清晰并配有直徑22mm的大視野目鏡。 2、系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動(dòng)載物臺(tái)，適合大工件的檢查。 3、兩路光路自由切換輸出，一路用于觀察，一路連接攝像裝置。 4、配置了偏光裝置并可選配暗場(chǎng)、微分干涉裝置，拓展了功能 技術(shù)參數(shù)   顯微鏡參數(shù)：   序號(hào) 名稱 技術(shù)參數(shù) 1 平場(chǎng)目鏡 大視野 WF10X(Φ22mm) 2 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡 PL L5X/0.12   工作距離：26.1 mm PL L10X/0.25  工作距離：20.2 mm PL L20X/0.40  工作距離：8.80 mm PL L50X/0.70  工作距離：3.68 mm PL L80X/0.80  工作距離：1.25 mm 3 總放大倍數(shù) 50X-800X 4 觀察頭 三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換) 5 轉(zhuǎn)換器 五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位)  6 粗微調(diào)調(diào)焦范圍 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.7μm, 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置 7 載物臺(tái) 機(jī)械式載物臺(tái)，外形尺寸：280mmX270mm，移動(dòng)范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm 8 光瞳距離 53-75mm 9 濾色片 (黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置 10 偏光裝置 推拉式檢偏器與起偏器 11 落射照明系統(tǒng) 6V30W鹵素?zé)?/span>,亮度可調(diào)內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄   12 儀器重量 凈重11.0公斤    毛重12.5公斤 13 儀器尺寸 儀器尺寸44X45X42（cm） 包裝尺寸45X50X50(cm)

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