CM120BD研究級12寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡

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研究級12寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡CM120BD廣泛應(yīng)用于芯片/晶圓/LCD，粒子爆破檢查等行業(yè)使用。采用半復(fù)消技術(shù)，集明場，暗場及偏光等多種照明方式，任何觀察都能呈現(xiàn)清晰銳利的顯微圖像，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美。用戶可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行功能選擇，是工業(yè)檢測的有效工具。特別是針對線路板切片測量，晶圓檢測，金相材料，高分子材料等尺寸較大的樣器進(jìn)行分析檢測，本機(jī)配備了偏振系統(tǒng)可做偏光檢測，在半導(dǎo)體和PCB檢測中，可消除雜光，細(xì)節(jié)更加清晰。同時(shí)可以選配DIC干涉附件插入DlC棱鏡，可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術(shù)可以使物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，大幅提高圖像對比度，特別適合觀察導(dǎo)電粒子。

顯微鏡參數(shù)

序號	名稱	技術(shù)參數(shù)
1	平場目鏡	正像大場高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm
2	物鏡	無限遠(yuǎn)長工作距明場半復(fù)消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 （選購）無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購）
3	光學(xué)放大倍數(shù)	50X-500X（選購100倍物鏡后放大倍數(shù)25-1000X）
4	數(shù)碼放大倍數(shù)	75-3000X(搭配1200萬相機(jī)及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下)
5	觀察頭	鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0
6	轉(zhuǎn)換器	5孔明暗場物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）.
7	調(diào)焦機(jī)構(gòu)	反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。
8	載物臺	12英寸載物臺，平臺面積 760430mm，玻璃臺面310418mm，移動(dòng)行程：300mmX300mm機(jī)械平臺，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置
9	晶圓轉(zhuǎn)臺	12寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺（選購）
10	偏光組件	起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板
11	反射照明系統(tǒng)	明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，10W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心
13	聚光鏡	搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）
14	攝像接口	0.65倍專用攝像接口
15	干涉組件	諾曼爾斯基微分干涉片（選購）
16	顯微鏡工業(yè)相機(jī)	高清1200萬顯微相機(jī) 或2000萬像素或自動(dòng)對焦相機(jī)（選購）
17	圖像處理軟件	拍照，錄像，測量，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合等（選購）
18	標(biāo)尺	高精度型測微尺，格值0.01m 總長1mm（選購）

注意事項(xiàng)：
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